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266NM紫外皮秒激光器

266NM紫外皮秒激光器

Ablator-PDUV-01
全新一代 Ablator-PDUV 系列 266nm 紫外皮秒激光器采用一体机设计方案,体积紧凑,全新升级的控制系统,运行更加稳定,兼具多种控制功能。整机结合了光纤种子源与固体混合放大技术和倍频技术,并经过高温老化、高低温冲击、振动测试等可靠性测试。
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产品介绍
产品说明
全新一代 Ablator-PDUV 系列 266nm 紫外皮秒激光器采用一体机设计方案,体积紧凑,全新升级的控制系统,运行更加稳定,兼具多种控制功能。整机结合了光纤种子源与固体混合放大技术和倍频技术,并经过高温老化、高低温冲击、振动测试等可靠性测试。
Ablator-PDUV 的典型输出波长为 266nm,重复频率 10-3000kHz,脉宽小,脉宽可控,在激光测量、激光精密标记、半导体检测等领域有卓越的表现。
产品特点       
• 一体机设计,机型小巧紧凑
• 光纤固体混合技术/倍频技术 
• 频率 10-3000kHz 可选
• 卓越的工业环境适用性及寿命

应用领域
• 材料微纳加工
• 薄膜制备
• 光刻曝光
• 晶圆检测
• 半导体检测
产品参数
温馨提示:支持定制
激光器主要性能指标
参数/型号Parameters/Type 单位Unit Ablator-PDUV-01
工作模式(Working Mode)   脉冲(Pulse) 
中心波长(Center Wavelength) nm 266
最大输出功率(Max Optical Average Power) W >1@1MHz
PSO/POD功能   支持
脉冲宽度(Pulse Width) ps <15
脉冲个数(Burst Mode)   1-10
重复频率(Pulse Repetition Rate) kHz 100-3000
偏振(Polarization)   线偏(Linear)
消光比(Extinction Ratio) dB >18
最大单脉冲能量(Max Pulse Energy) uJ >1
光束质量(Beam Quality M2)   ≤1.3
输出光斑直径(Beam Diameter) mm 1.5±0.5
输出光功率可调节范围(Output Power Tunability) % 0-100
功率稳定度(Power stability,RMS@8h) % < 3
脉冲稳定度(Pulse stability,RMS) % < 1
冷却方式(Power consumption) - 水冷
功率消耗(Power consumption) W <800
工作电压(Electrical Supply Voltage) VAC 220
工作温度(Operating Temperature) 20-30
存储温度(Storage Temperature) 0-60
体积(Dimensions)(L*W*H) mm 613x394x150
重量(Weight) kg <40

机械图纸                                                                                                                     单位:mm
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