产品介绍
产品说明
全新一代 Ablator-PDUV 系列 266nm 紫外皮秒激光器采用一体机设计方案,体积紧凑,全新升级的控制系统,运行更加稳定,兼具多种控制功能。整机结合了光纤种子源与固体混合放大技术和倍频技术,并经过高温老化、高低温冲击、振动测试等可靠性测试。
Ablator-PDUV 的典型输出波长为 266nm,重复频率 10-3000kHz,脉宽小,脉宽可控,在激光测量、激光精密标记、半导体检测等领域有卓越的表现。
产品特点
• 一体机设计,机型小巧紧凑
• 光纤固体混合技术/倍频技术
• 频率 10-3000kHz 可选
• 卓越的工业环境适用性及寿命
应用领域
• 材料微纳加工
• 薄膜制备
全新一代 Ablator-PDUV 系列 266nm 紫外皮秒激光器采用一体机设计方案,体积紧凑,全新升级的控制系统,运行更加稳定,兼具多种控制功能。整机结合了光纤种子源与固体混合放大技术和倍频技术,并经过高温老化、高低温冲击、振动测试等可靠性测试。
Ablator-PDUV 的典型输出波长为 266nm,重复频率 10-3000kHz,脉宽小,脉宽可控,在激光测量、激光精密标记、半导体检测等领域有卓越的表现。
产品特点
• 一体机设计,机型小巧紧凑
• 光纤固体混合技术/倍频技术
• 频率 10-3000kHz 可选
• 卓越的工业环境适用性及寿命
应用领域
• 材料微纳加工
• 薄膜制备
• 光刻曝光
• 晶圆检测
• 半导体检测
产品参数
温馨提示:支持定制
激光器主要性能指标
机械图纸 单位:mm
参数/型号Parameters/Type | 单位Unit | Ablator-PDUV-01 |
工作模式(Working Mode) | 脉冲(Pulse) | |
中心波长(Center Wavelength) | nm | 266 |
最大输出功率(Max Optical Average Power) | W | >1@1MHz |
PSO/POD功能 | 支持 | |
脉冲宽度(Pulse Width) | ps | <15 |
脉冲个数(Burst Mode) | 1-10 | |
重复频率(Pulse Repetition Rate) | kHz | 100-3000 |
偏振(Polarization) | 线偏(Linear) | |
消光比(Extinction Ratio) | dB | >18 |
最大单脉冲能量(Max Pulse Energy) | uJ | >1 |
光束质量(Beam Quality M2) | ≤1.3 | |
输出光斑直径(Beam Diameter) | mm | 1.5±0.5 |
输出光功率可调节范围(Output Power Tunability) | % | 0-100 |
功率稳定度(Power stability,RMS@8h) | % | < 3 |
脉冲稳定度(Pulse stability,RMS) | % | < 1 |
冷却方式(Power consumption) | - | 水冷 |
功率消耗(Power consumption) | W | <800 |
工作电压(Electrical Supply Voltage) | VAC | 220 |
工作温度(Operating Temperature) | ℃ | 20-30 |
存储温度(Storage Temperature) | ℃ | 0-60 |
体积(Dimensions)(L*W*H) | mm | 613x394x150 |
重量(Weight) | kg | <40 |
机械图纸 单位:mm
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